Осадження легованих Al плівок ZnO методом магнетронного розпилення при зміні напруги підкладки
Вантажиться...
Дата
2021
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Магістерська дисертація присвячена темі дослідження впливу напруги підкладки на основні характеристики тонких плівок.
Метою роботи є аналіз властивостей тонких плівок оксиду цинку, легованого алюмінієм, осаджених магнетронним методом при зміні напруги підкладки. В роботі розглянуто основні матеріали прозорих провідних оксидів. Описано принцип роботи методів осадження тонких плівок, із зазначеними перевагами та недоліками цих методів. Розглянуто три методи магнетронного напилення та обрано з них найбільш оптимальний варіант для досліджень. Проведено експеримент з декількома зразками плівок які напилювались при різних напругах підкладки. Було проаналізовано результати оптичних, структурних, і електричних характеристик цих зразків, а також обговорено результати досліду.
Опис
Ключові слова
оксид цинку, осадження тонких плівок, магнетронне напилення, високочастотне магнетронне напилення, напруга зміщення підкладки, ZnO:Al
Бібліографічний опис
Тихоненко, М. В. Осадження легованих Al плівок ZnO методом магнетронного розпилення при зміні напруги підкладки : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Тихоненко Михайло Валерійович. – Київ, 2021. – 55 с.