Осадження легованих Al плівок ZnO методом магнетронного розпилення при зміні напруги підкладки
Вантажиться...
Дата
2021
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
оксид цинку, осадження тонких плівок, магнетронне напилення, високочастотне магнетронне напилення, напруга зміщення підкладки, ZnO:Al
Бібліографічний опис
Тихоненко, М. В. Осадження легованих Al плівок ZnO методом магнетронного розпилення при зміні напруги підкладки : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Тихоненко Михайло Валерійович. – Київ, 2021. – 55 с.