Підвищення точності розпізнавальної системи скануючого зондового мікроскопа
Вантажиться...
Дата
2022
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
нановимірювання, дестабілізуючі фактори, випадкові процеси
Бібліографічний опис
Квасніков, В. П. Підвищення точності розпізнавальної системи скануючого зондового мікроскопа / Квасніков, В. П., Катаєва, М. О. // XХI Міжнародна науково-технічна конференція “Приладобудування: стан і перспективи”, 17–18 травня 2022 р., Київ, Україна : збірник матеріалів конференції. – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2022. – С. 96-98. – Бібліогр.: 2 назви.