Високонадійні сенсори на основі плівок нанокристалічного SIC для моніторингу газового середовища
Вантажиться...
Дата
2020
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
газочутливі властивості, електроопір, нанокристалічний карбід кремнію, газові сенсори, gas-sensitive properties, electrical resistance, nanocrystalline silicon carbide, gas sensors
Бібліографічний опис
Семенов, О. В. Високонадійні сенсори на основі плівок нанокристалічного SIC для моніторингу газового середовища / Семенов О. В., Любов Д. В. // Міжнародна науково-технічна конференція «Радіотехнічні поля, сигнали, апарати та системи» : матеріали конференції, 16-22 листопада 2020 р., м. Київ, Україна / КПІ ім. Ігоря Сікорського, РТФ. – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2020. – С. 178-180.