Властивості плівок ZnO:Al,N, вирощених в умовах бідних на кисень
Вантажиться...
Дата
2022
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
оксид цинку, ZnO:Al,N, осадження тонких плівок, високочастотне магнетронне напилення, співлегування
Бібліографічний опис
Солощук, Б. П. Властивості плівок ZnO:Al,N, вирощених в умовах бідних на кисень : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Солощук Богдан Павлович. – Київ, 2022. – 62 с.