Вплив інверсії шарів на термічно-індуковані структурно-фазові перетворення в субмікронних плівкових композиціях Ni/Ti
Вантажиться...
Дата
2022-12
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Об’єкт досліджень : Фазова структура субмікронних плівок Ni(400 нм)/Ti(100 нм)/Si та Ti(400 нм)/Ni(100 нм)/Si, отриманих методом магнетронного напилення, та розвиток структурного фазового переходу після вакуумного відпалу.
Мета роботи: Встановлення впливу послідовності осадження шарів Ni та Ti на взаємодифузію, структурно-фазові перетворення та перерозподіл хімічних елементів за товщиною в субмікронних плівкових композиціях Ni/Ti.
Методи дослідження: рентгеноструктурний фазовий аналіз, мас-спектрометрія вторинних іонів.
Результати досліджень та їх новизна: Це дослідження спрямоване на встановлення впливу розташування шарів Ni та Ti на дифузію та фазоутворення в субмікронних плівках Ni/Ti та Ti/Ni, нанесених магнетронним напиленням на монокристалічну підкладку Si(100) з наступним відпалом до 600 °C у вакуумі. Дані XRD показали утворення полікристалічної фази Ni та аморфного Ti в обох системах після осадження. Проте спостерігалася значна розбіжність у дифузійній поведінці компонентів досліджуваних двошарових плівок при термообробці. Коли Ni наноситься як верхній шар, вакуумний відпал призводить до переважної дифузії атомів Ti до зовнішньої поверхні через межі зерен Ni та його агломерації на поверхні. Ймовірно, цей процес викликаний високою спорідненістю Ti до кисню. З іншого боку, у випадку відпалу плівки з верхнім шаром Ti не відбувається взаємної дифузії між шарами Ni і Ti, тоді як Ni повністю поглинається в реакції з підкладкою Si. Отже, дифузійно-індуковане фазоутворення в бішарах Ni-Ti сильно залежить від просторового розташування шарів, яке слід враховувати та коригувати в залежності від цілей застосування.
Опис
Ключові слова
thin films, layer inversion, annealation, phase structure
Бібліографічний опис
Ши Сужигуга. Вплив інверсії шарів на термічно-індуковані структурно-фазові перетворення в субмікронних плівкових композиціях Ni/Ti / Ши Сужигуга : магістерська дис. : 132 Матеріалознавство. – Київ, 2022. – 86 с.