Метод електронної мікроскопії для дослідження топології інтегральних схем
Вантажиться...
Дата
2023
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Проведено детальний аналіз топології інтегральних схем. Досліджено різноманітні архітектурні рішення та їх вплив на ефективність та функціональність ІС. Особлива увага приділена технологічним вирішенням та їх впливу на характеристики інтегральних схем. Проаналізовано існуючі методи дослідження інтегральних схем та даних, які можна отримати цими методами. Розглянуто сучасні підходи до реверсивної інженерії та використання електронної мікроскопії в електроніці. Описано методи виявлення та аналізу мікросхем, а також ролі електронної мікроскопії в забезпеченні точного визначення топології ІС. Проведено глибокий аналіз застосування скануючої електронної мікроскопії для аналізу топології інтегральних схем. Виокремлено переваги та обмеження цього методу, а також розглянуто приклади успішних досліджень, в яких використовувалася скануюча електронна мікроскопія.
Опис
Ключові слова
електронна мікроскопія, інтегральні схеми, електронні компоненти, реверсивна інженерія, топологія інтегральних схем, візуалізація мікросхем, electron microscopy, integrated circuits, electronic components, reverse engineering, topology of integrated circuits, visualization of microcircuits
Бібліографічний опис
Ворона, А. С. Метод електронної мікроскопії для дослідження топології інтегральних схем : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Ворона Артем Сергійович. – Київ, 2023. – 79 с.