Структура та оптичні властивості плівок ZnO:Al,N, осаджених при зміні напруги зміщення підкладки
Вантажиться...
Дата
2024
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Магістерська робота викладена на 103 сторінках, містить 3 розділи, 60 ілюстрацій, 10 таблиць та 83 літературних джерела.
Метою даної роботи є встановлення впливу напруги зміщення на підкладці на структуру та оптичні властивості плівок ZnO:Al,N, вирощених радіочастотним магнетронним розпиленням на кремнієвих та скляних підкладках.
Предметом дослідження є аналіз впливу електричної напруги, прикладеної до підкладки, на структурні та оптичні характеристики тонких плівок ZnO:Al,N.
В першому розділі було детально розглянуто літературні джерела в яких описуються основні методи осадження плівок.
В другому розділі описано технологію синтезу та методи дослідження зразків тонких плівок ZnO:Al,N.
У третьому розділі представлені результати дослідження структурних та оптичних характеристик плівок ZnO:Al,N, вирощених при різних значеннях напруги зміщення. Показано, що прикладення напруги зміщення на підкладку в процесі росту плівок впливає на швидкість росту, на структуру та оптичні властивості плівок.
Опис
Ключові слова
магнетронне розпилення, напруга зміщення підкладки, рентгенівська дифракція, спектри пропускання, сканувальна електронна мікроскопія, ZnO:Al N, magnetron sputtering, substrate bias voltage, X-ray diffraction, transmission spectra, scanning electron microscopy
Бібліографічний опис
Єлізарова, В. Ю. Структура та оптичні властивості плівок ZnO:Al,N, осаджених при зміні напруги зміщення підкладки : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Єлізарова Валерія Юріївна. – Київ, 2024. – 103 с.