Розвиток та стан мікроелектромеханічних систем
Вантажиться...
Дата
2008
Автори
Казаченко, Г. А.
Гераїмчук, М. Д.
Kazachenko, G. A.
Geraimchuk, M. D.
Казаченко, Г. А.
Гераимчук, М. Д.
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТУУ "КПІ"
Анотація
Опис
Ключові слова
Бібліографічний опис
Казаченко Г. А. Розвиток та стан мікроелектромеханічних систем / Казаченко Г. А., Гераїмчук М. Д. // Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування : збірник наукових праць. – 2008. – Вип. 35. – С. 135–142. – Бібліогр.: 14 назв.