Розвиток та стан мікроелектромеханічних систем

Вантажиться...
Ескіз

Дата

2008

Автори

Казаченко, Г. А.
Гераїмчук, М. Д.
Kazachenko, G. A.
Geraimchuk, M. D.
Казаченко, Г. А.
Гераимчук, М. Д.

Науковий керівник

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

НТУУ "КПІ"

Анотація

Опис

Ключові слова

Бібліографічний опис

Казаченко Г. А. Розвиток та стан мікроелектромеханічних систем / Казаченко Г. А., Гераїмчук М. Д. // Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування : збірник наукових праць. – 2008. – Вип. 35. – С. 135–142. – Бібліогр.: 14 назв.

ORCID

DOI