Іонно-індуковані структурно-фазові перетворення в багатошарових плівкових композиціях [Ni/Ti]x3
Вантажиться...
Дата
2025
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Метою дипломної роботи є дослідження іонно-індукованих структурно-фазових перетворень у багатошарових тонкоплівкових композиціях [Ni/Ti]x3, осаджених на кремнієву підкладку методом магнетронного розпорошення. Для цього проведено іонну імплантацію іонами Ar⁺ та N⁺ з енергією 110 кеВ та подальший аналіз за допомогою
рентгеноструктурного фазового аналізу та вторинної іонної мас-спектрометрії. У результаті встановлено, що іони Ar⁺ спричиняють перемішування шарів Ni та Ti з утворенням NiTi-фази, тоді як іони N⁺ індукують формування дифузійно-бар’єрних прошарків TiN, які перешкоджають фазоутворенню.
Опис
Ключові слова
дифузія, іонна обробка, структурно-фазовіперетворення, тонкоплівкові композиції, NiTi, ion treatment, shape memory alloys, structuraland phase transformations, thin filmcompositions
Бібліографічний опис
Кравченко? А. А. Іонно-індуковані структурно-фазові перетворення в багатошарових плівкових композиціях [Ni/Ti]x3 : дипломна робота ... бакалавра : 132 Матеріалознавство / Кравченко Андрій Андрійович. – Київ, 2025. – 61 с.