Іонно-індуковані структурно-фазові перетворення в багатошарових плівкових композиціях [Ni/Ti]x3

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.advisorОрлов, Андрій Костянтинович
dc.contributor.authorКравченко, Андрій Андрійович
dc.date.accessioned2025-06-27T14:12:56Z
dc.date.available2025-06-27T14:12:56Z
dc.date.issued2025
dc.description.abstractМетою дипломної роботи є дослідження іонно-індукованих структурно-фазових перетворень у багатошарових тонкоплівкових композиціях [Ni/Ti]x3, осаджених на кремнієву підкладку методом магнетронного розпорошення. Для цього проведено іонну імплантацію іонами Ar⁺ та N⁺ з енергією 110 кеВ та подальший аналіз за допомогою рентгеноструктурного фазового аналізу та вторинної іонної мас-спектрометрії. У результаті встановлено, що іони Ar⁺ спричиняють перемішування шарів Ni та Ti з утворенням NiTi-фази, тоді як іони N⁺ індукують формування дифузійно-бар’єрних прошарків TiN, які перешкоджають фазоутворенню.
dc.description.abstractotherThe aim of this bachelor's thesis is to investigate ioninduced structural and phase transformations in multilayer [Ni/Ti]x3 thin-film compositions deposited on a silicon substrate by magnetron sputtering. Ion implantation with Ar⁺ and N⁺ ions at 110 keV was performed, followed by structural characterization using X-ray diffraction and secondary ion mass spectrometry. It was found that Ar⁺ ions cause mixing of Ni and Ti layers with the formation of NiTi phase, while N⁺ ions induce the formation of TiN barrier layers that prevent interdiffusion and phase formation. The results can be used for the development of thin-film sensors, MEMS devices, and bioimplants.
dc.format.extent61 с.
dc.identifier.citationКравченко? А. А. Іонно-індуковані структурно-фазові перетворення в багатошарових плівкових композиціях [Ni/Ti]x3 : дипломна робота ... бакалавра : 132 Матеріалознавство / Кравченко Андрій Андрійович. – Київ, 2025. – 61 с.
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/74497
dc.language.isouk
dc.publisherКПІ ім. Ігоря Сікорського
dc.publisher.placeКиїв
dc.subjectдифузія
dc.subjectіонна обробка
dc.subjectструктурно-фазовіперетворення
dc.subjectтонкоплівкові композиції
dc.subjectNiTi
dc.subjection treatment
dc.subjectshape memory alloys
dc.subjectstructuraland phase transformations
dc.subjectthin filmcompositions
dc.subject.udc621.785
dc.titleІонно-індуковані структурно-фазові перетворення в багатошарових плівкових композиціях [Ni/Ti]x3
dc.typeBachelor Thesis

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Kravchenko_bakalavr.pdf
Розмір:
2.6 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
8.98 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Бакалаврські роботи (ФМТО)
Бакалаврські роботи