Час життя в пористих структурах з нанокристалами металів
Вантажиться...
Дата
2019-06
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Загальний обсяг роботи складає 72 сторінки, кількість ілюстрацій - 32, таблиць - 2, джерел за переліком посилань - 18.
Час життя носіїв неврівноважених носіїв заряду є важливим параметром для напівпровідникових приладів та пристроїв. Зазвичай вважається, що присутність металів в кремнії призводить до погіршення об’ємних властивостей напівпровідника.
В останні три десятиліття почав набувати популярності такий матеріал як пористий кремній, одним із способів отримання якого є хімічне травлення в присутності металів.
Метою роботи є дослідження часу життя неврівноважених носіїв заряду в пористому кремнії, виготовленому методом хімічного травлення в присутності металів. Важливим факторов є присутність різних металів при травленні крепнію.
Для здійснення дослідження необхідно про зробии наступне:
• Провести огляд літератури та ознайомитися с особливостями пористого кремнію та методами його виготовлення.
• Виготовити достатню кількість різноманітних зразків пористого кремнію
• Провести виміри часу життя
• Зробити висновки щодо отриманох під час дослідження інформації
Об’єктами дослідження є зразки пористого кремнію, що містять ту чи іншу кількість металічних речовин.
У роботі було виористано наступні методи дослідження:
• Отримання реалксаційної характеристики носіїв заряду методом модцляції в точковому контакті.
• Вимірювання опору зразків
• Вивчення морфології зразків сенсорів за допомогою растрової електронної мікроскопії.
Наукова новизна полягає у дослідженні параметрів пористого кремнію, протравленного саме в присутності Ag, Au та Cu з подальшим видаленням металічних наночасток у деяких випадках.
Опис
Ключові слова
пористий кремній, метод травлення в присутності металів, релаксаційна характеристика, час життя носіїв заряду, porous silicon, method of etching in the presence of metals, relaxation characteristic, life time of charge carrier
Бібліографічний опис
Федоров, А. О. Час життя в пористих структурах з нанокристалами металів : дипломна робота … бакалавра : 6.050801 Мікро- та наноелектроніка / Федоров Антон Олександрович. – Київ, 2019. – 73 с.