Структура та оптичні властивості плівок ZnO:Al,N, осаджених при зміні напруги зміщення підкладки
Дата
2024
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Магістерська робота викладена на 103 сторінках, містить 3 розділи, 60 ілюстрацій, 10 таблиць та 83 літературних джерела.
Метою даної роботи є встановлення впливу напруги зміщення на підкладці на структуру та оптичні властивості плівок ZnO:Al,N, вирощених радіочастотним магнетронним розпиленням на кремнієвих та скляних підкладках.
Предметом дослідження є аналіз впливу електричної напруги, прикладеної до підкладки, на структурні та оптичні характеристики тонких плівок ZnO:Al,N.
В першому розділі було детально розглянуто літературні джерела в яких описуються основні методи осадження плівок.
В другому розділі описано технологію синтезу та методи дослідження зразків тонких плівок ZnO:Al,N.
У третьому розділі представлені результати дослідження структурних та оптичних характеристик плівок ZnO:Al,N, вирощених при різних значеннях напруги зміщення. Показано, що прикладення напруги зміщення на підкладку в процесі росту плівок впливає на швидкість росту, на структуру та оптичні властивості плівок.
Опис
Ключові слова
магнетронне розпилення, напруга зміщення підкладки, рентгенівська дифракція, спектри пропускання, сканувальна електронна мікроскопія, ZnO:Al N, magnetron sputtering, substrate bias voltage, X-ray diffraction, transmission spectra, scanning electron microscopy
Бібліографічний опис
Єлізарова, В. Ю. Структура та оптичні властивості плівок ZnO:Al,N, осаджених при зміні напруги зміщення підкладки : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Єлізарова Валерія Юріївна. – Київ, 2024. – 103 с.