Вдосконалення методів використання інформаційно-вимірювальних систем на ПЗЗ в пірометричних задачах

Ескіз недоступний

Дата

2018-12

Науковий керівник

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

Анотація

Пояснювальна записка «Вдосконалення методів використання інформаційно-вимірювальних систем на ПЗЗ в пірометричних задачах»: 101 с., 39 рис., 17 джерел. Мета роботи — підвищення точності вимірювання параметрів БЗП шляхом аналізу та узагальнення експериментальних результатів щодо закономірностей розподілу яскравості на поверхні ЗР. Об’єкт дослідження —параметри електронно-променевої БЗП, яка провадиться в вакуумній камері з метою отримання надчистих напівпровідникових матеріалів та матеріалів з заданими властивостями. Досліджено експериментально отримані функції розподілу яскравості на поверхні ЗР для різних режимів плавки. Розроблено методики та стенд для експериментального дослідження характеристик інформаційно-вимірювальних систем на ПЗЗ. Прогнозні припущення щодо розвитку об’єкту дослідження — вдосконалення методології контролю температурних режимів в технології БЗП.

Опис

Ключові слова

температура, інформаційно-вимірювальна система на ПЗЗ, вимірювання, информационно-измерительные системы на ПЗС, измерение

Бібліографічний опис

Власюк, В. А. Вдосконалення методів використання інформаційно-вимірювальних систем на ПЗЗ в пірометричних задачах : магістерська дис. : 152 Метрологія та інформаційно-вимірювальна техніка / Власюк Віталій Анатолійович. – Київ, 2018. – 81 с.

ORCID

DOI