Вдосконалення методів використання інформаційно-вимірювальних систем на ПЗЗ в пірометричних задачах
Ескіз недоступний
Дата
2018-12
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Пояснювальна записка «Вдосконалення методів використання інформаційно-вимірювальних систем на ПЗЗ в пірометричних задачах»: 101 с., 39 рис., 17 джерел.
Мета роботи — підвищення точності вимірювання параметрів БЗП шляхом аналізу та узагальнення експериментальних результатів щодо закономірностей розподілу яскравості на поверхні ЗР.
Об’єкт дослідження —параметри електронно-променевої БЗП, яка провадиться в вакуумній камері з метою отримання надчистих напівпровідникових матеріалів та матеріалів з заданими властивостями.
Досліджено експериментально отримані функції розподілу яскравості на поверхні ЗР для різних режимів плавки.
Розроблено методики та стенд для експериментального дослідження характеристик інформаційно-вимірювальних систем на ПЗЗ.
Прогнозні припущення щодо розвитку об’єкту дослідження — вдосконалення методології контролю температурних режимів в технології БЗП.
Опис
Ключові слова
температура, інформаційно-вимірювальна система на ПЗЗ, вимірювання, информационно-измерительные системы на ПЗС, измерение
Бібліографічний опис
Власюк, В. А. Вдосконалення методів використання інформаційно-вимірювальних систем на ПЗЗ в пірометричних задачах : магістерська дис. : 152 Метрологія та інформаційно-вимірювальна техніка / Власюк Віталій Анатолійович. – Київ, 2018. – 81 с.