Вдосконалення методів використання інформаційно-вимірювальних систем на ПЗЗ в пірометричних задачах

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.advisorМаркіна, Ольга Миколаївна
dc.contributor.authorВласюк, Віталій Анатолійович
dc.date.accessioned2019-03-27T12:03:54Z
dc.date.available2019-03-27T12:03:54Z
dc.date.issued2018-12
dc.description.abstractruПояснительная записка «Усовершенствование методов использования информационно-измерительных систем на ПЗС в пирометричних задачах»: 101 с., 39 рис., 17 источников. Цель работы — повышение точности измерения параметров БЗП путём анализа и обобщения экспериментальных результатов о закономерностях распределения яркости на поверхности ЗР. Объєкт исследования —параметры электронно-лучевой БЗП в вакуумной камере з целью получения сверхчистых полупроводниковых материалов. Исследованы экспериментально полученные функции распределения яркости на поверхности ЗР для разных режимов плавки. Разработаны методики и стенд для экспериментального д исследования характеристик информационно-измерительных систем на ПЗС. Прогноз развития объєкта исследования — усовершенствование методологии контроля температурных режимов в технологии БЗП.uk
dc.description.abstractukПояснювальна записка «Вдосконалення методів використання інформаційно-вимірювальних систем на ПЗЗ в пірометричних задачах»: 101 с., 39 рис., 17 джерел. Мета роботи — підвищення точності вимірювання параметрів БЗП шляхом аналізу та узагальнення експериментальних результатів щодо закономірностей розподілу яскравості на поверхні ЗР. Об’єкт дослідження —параметри електронно-променевої БЗП, яка провадиться в вакуумній камері з метою отримання надчистих напівпровідникових матеріалів та матеріалів з заданими властивостями. Досліджено експериментально отримані функції розподілу яскравості на поверхні ЗР для різних режимів плавки. Розроблено методики та стенд для експериментального дослідження характеристик інформаційно-вимірювальних систем на ПЗЗ. Прогнозні припущення щодо розвитку об’єкту дослідження — вдосконалення методології контролю температурних режимів в технології БЗП.uk
dc.format.page81 с.uk
dc.identifier.citationВласюк, В. А. Вдосконалення методів використання інформаційно-вимірювальних систем на ПЗЗ в пірометричних задачах : магістерська дис. : 152 Метрологія та інформаційно-вимірювальна техніка / Власюк Віталій Анатолійович. – Київ, 2018. – 81 с.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/26937
dc.language.isoukuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.subjectтемператураuk
dc.subjectінформаційно-вимірювальна система на ПЗЗuk
dc.subjectвимірюванняuk
dc.subjectинформационно-измерительные системы на ПЗСuk
dc.subjectизмерениеuk
dc.subject.udc621.307.13uk
dc.titleВдосконалення методів використання інформаційно-вимірювальних систем на ПЗЗ в пірометричних задачахuk
dc.typeMaster Thesisuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
Vlasiuk_magistr.docx
Розмір:
1.69 MB
Формат:
Microsoft Word XML
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Магістерські роботи (НАЕПС)
Магістерські роботи