Розмірний ефект в тонких резистивних металевих плівках
Вантажиться...
Дата
2021
Автори
Єлізарова, Валерія Юріївна
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Роботу викладено на сторінках, вона містить 3 розділи, 13 ілюстрацій та 28 джерел в переліку посилань.
Об’єктом дослідження є тонка резистивна плівка n-PbTe на слюдяних та ситалових підкладках.
Предметом дослідження є електричні параметри, теоретичні та експериментальні залежності резистивних плівок.
Мета роботи – аналіз підходів до опису тонких резистивних металевих плівок, виведення теоретичних співвідношень для опису електричних параметрів плівок, порівняння з експериментальними даними.
В першому розділі проведено аналіз наукових джерел, які розкривають поняття розмірного ефекту в тонких резистивних металевих плівках, надано класифікацію розмірних ефектів. Також класифіковано тонкі плівки за їх властивостями та в залежності від способів їх виготовлення.
В другому розділі представлені моделі опису резистивних плівок, представлено скорочені формули для розрахунку електричних параметрів. Надано стислий опис стосовно проведення експериментальних досліджень для виміру параметрів.
В третьому розділі по обраній моделі плівки виведено співвідношення що описують електричні параметри та побудовано ряд кривих: теоретичних та практичних.
Опис
Ключові слова
розмірний ефект, резистивна плівка, модель Фукса, модель Матісена–Шаткеса, Fuch model, Matisen-Shatkes model, size effect, resistive film
Бібліографічний опис
Єлізарова, В. Ю. Розмірний ефект в тонких резистивних металевих плівках : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Єлізарова Валерія Юріївна. – Київ, 2021. – 48 с.