Вибір оптимальних параметрів фотодіодів для оптичної пірометрії
Вантажиться...
Дата
2020
Автори
Новіков, Денис Олександрович
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Роботу викладено на 77 сторінках, вона містить 3 розділи, 34 ілюстрації, 2 таблиці та 46 джерел в переліку посилань.
Об’єктом дослідження є кремнієві фотодіоди та їх використання в оптичній пірометрії.
Предмет роботи – дослідження електричних, частотних і оптичних параметрів кремнієвих фотодіодів із p-n переходом та умов оптичного вимірювання температури підкладок в реакторі.
Мета роботи – вибір фотодіодів для використання в системі пірометра із компенсацією випромінювання для точного контролю температури під час осадження металоорганічних сполук із парової фази.
В першому розділі подаються основи теплового випромінювання, його поширення у просторі, властивості поверхонь, модель ідеального випромінювача та опис властивостей випромінювання у вигляді радіометричних величин.
В другому розділі розглядаються основи пірометрії з компенсацією випромінювання, аналіз похибок та особливості її застосування у реакторах MOCVD.
В третьому розділі проводиться аналіз та подаються результати вимірювання параметрів кремнієвих фотодіодів для подальшого використання в пірометрії із компенсацією випромінювання.
Опис
Ключові слова
кремнієвий фотодіод, пірометрія з компенсацією випромінювання, осадження хімічних сполук з парової фази, silicon photodiode, emissivity-compensated pyrometry, metalorganic chemical vapour deposition
Бібліографічний опис
Новіков, Д. О. Вибір оптимальних параметрів фотодіодів для оптичної пірометрії : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Новіков Денис Олександрович. – Київ, 2020. – 77 с.