Вибір оптимальних параметрів фотодіодів для оптичної пірометрії

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.advisorСвєчніков, Георгій Сергійович
dc.contributor.authorНовіков, Денис Олександрович
dc.date.accessioned2020-07-20T11:35:15Z
dc.date.available2020-07-20T11:35:15Z
dc.date.issued2020
dc.description.abstractenThis work contains 77 pages which include 3 sections, 34 figures, 2 tables and 46 sources in the reference list. The object of research is silicon photodiodes and their application in optical pyrometry. The subject of the work is the study of electrical, frequency and optical parameters of silicon photodiodes with p-n junction and conditions of optical measurement of substrate temperature in the reactor. The objective of the work is a selection of photodiodes for using them in the emissivity-compensated pyrometer’s system for the precise temperature control during metalorganic chemical vapour deposition process. The first section presents the basics of thermal radiation, its propagation in environment, surface properties, the model of an ideal radiator and a description of the radiation properties in the form of radiometric quantities. The second section examines the foundations of the emissivity-compensated pyrometry, error analysis and specificities of its application in MOCVD reactors. The third section deals with analysis and presents the results of measuring of the parameters of silicon photodiodes for further use in the emissivity-compensated pyrometry.uk
dc.description.abstractukРоботу викладено на 77 сторінках, вона містить 3 розділи, 34 ілюстрації, 2 таблиці та 46 джерел в переліку посилань. Об’єктом дослідження є кремнієві фотодіоди та їх використання в оптичній пірометрії. Предмет роботи – дослідження електричних, частотних і оптичних параметрів кремнієвих фотодіодів із p-n переходом та умов оптичного вимірювання температури підкладок в реакторі. Мета роботи – вибір фотодіодів для використання в системі пірометра із компенсацією випромінювання для точного контролю температури під час осадження металоорганічних сполук із парової фази. В першому розділі подаються основи теплового випромінювання, його поширення у просторі, властивості поверхонь, модель ідеального випромінювача та опис властивостей випромінювання у вигляді радіометричних величин. В другому розділі розглядаються основи пірометрії з компенсацією випромінювання, аналіз похибок та особливості її застосування у реакторах MOCVD. В третьому розділі проводиться аналіз та подаються результати вимірювання параметрів кремнієвих фотодіодів для подальшого використання в пірометрії із компенсацією випромінювання.uk
dc.format.page77 с.uk
dc.identifier.citationНовіков, Д. О. Вибір оптимальних параметрів фотодіодів для оптичної пірометрії : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Новіков Денис Олександрович. – Київ, 2020. – 77 с.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/35109
dc.language.isoukuk
dc.publisherКПІ ім. Ігоря Сікорськогоuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.subjectкремнієвий фотодіодuk
dc.subjectпірометрія з компенсацією випромінюванняuk
dc.subjectосадження хімічних сполук з парової фазиuk
dc.subjectsilicon photodiodeuk
dc.subjectemissivity-compensated pyrometryuk
dc.subjectmetalorganic chemical vapour depositionuk
dc.titleВибір оптимальних параметрів фотодіодів для оптичної пірометріїuk
dc.typeBachelor Thesisuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Novikov_bakalavr.pdf
Розмір:
2.54 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
9.06 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Бакалаврські роботи (МЕ)
Бакалаврські роботи