Сенсори параметрів навколишнього середовища на основі кремнієвих нанониток
Вантажиться...
Дата
2023
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Роботу викладено на 80 сторінках, вона містить 3 розділи, 38 ілюстрацій, 10 таблиць і 23 джерел в переліку посилань.
Об’єктом дослідження є кремнієві нанонитки (SiNWs) та прилади на їх основі.
Предмет роботи – дослідження морфологічних, електричних та чутливих характеристик синтезованих SiNWs-структур в сенсорах температури, освітленості та вологості на їх основі.
Мета роботи – розробка технології синтезу кремнієвих нанониток методом метало-стимульованого хімічного травлення для застосування їх в сенсорах навколишнього середовища (температури, освітленості та вологості).
В першому розділі представлено огляд літератури, в якому розглядаються технологічні засади та реалізація різних методів синтезу кремнієвих нанониток в рамках підходів «знизу-вгору» та «зверху-вниз», вплив технологічних параметрів методу на структурні особливості отримуваних SiNWs-структур.
В другому розділі розглядаються наукові досягнення в області сенсорів навколишнього середовища на основі SiNWs, їх характеристики та параметри.
В третьому розділі подано результати синтезу, дослідження поверхневих структур, електричних та чутливих характеристик сенсорів температури, освітленості та вологості, отриманих на основі SiNWs, в залежності від технологічних параметрів методу MACE.
Опис
Ключові слова
кремній, метало-стимульоване хімічне травлення, нанонитки, сенсор температури, сенсор освітленості, сенсор вологості, silicon, metal-assisted chemical etching, nanowires, temperature sensor, light sensor, humidity sensor
Бібліографічний опис
Сачевнік, В. Л. Сенсори параметрів навколишнього середовища на основі кремнієвих нанониток : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Сачевнік Вячеслав Леонідович. – Київ, 2023. – 80 с.