Структура та оптичні властивості плівок ZnO:Y, осаджених методом високочастотного магнетронного розпилення
Вантажиться...
Дата
2023
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Роботу викладено на 50 сторінках, вона містить 3 розділи, 25 ілюстрацій, 6 таблиць та 23 джерел у переліку літератури.
Об’єктом дослідження є тонкі плівки ZnO, леговані ітрієм.
Предмет роботи – дослідження структури та оптичних властивостей тонких плівок ZnO в залежності від рівня легування ітрієм.
Мета роботи – дослідити вплив легування ітрієм на структуру та оптичні властивості плівок ZnO, осаджених методом високочастотного магнетронного розпилення.
В першому розділі представлено літературний огляд, де було розглянуто особливості та застосування матеріалу, наведено огляд робіт по легуванню ZnO ітрієм, та методи, за допомогою яких проводиться осадження тонких плівок.
В другому розділі було описано як та за яких умов були виготовлені плівки, методи їх дослідження та методи для розрахунків властивостей.
В третьому розділі було наведено результати досліджень властивостей вирощених плівок з різним рівнем легування, до яких увійшли: елементний аналіз, рентгенограми з їх аналізом та спектри пропускання. Встановлено, що ітрій входить в гратку ZnO.
Опис
Ключові слова
оксид цинку, оксид цинку легований ітрієм, високочастотне магнетронне розпилення, тонкі плівки, zinc oxide, yttrium-doped zinc oxide, high frequency magnetron sputtering, thin films
Бібліографічний опис
Лисенко, П. Я. Структура та оптичні властивості плівок ZnO:Y, осаджених методом високочастотного магнетронного розпилення : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Лисенко Павло Ярославович. – Київ, 2023. – 50 с.