Структура та оптичні властивості плівок ZnO:Y, осаджених методом високочастотного магнетронного розпилення

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.advisorЄвтушенко, Арсеній Іванович
dc.contributor.authorЛисенко, Павло Ярославович
dc.date.accessioned2023-09-08T16:38:39Z
dc.date.available2023-09-08T16:38:39Z
dc.date.issued2023
dc.description.abstractРоботу викладено на 50 сторінках, вона містить 3 розділи, 25 ілюстрацій, 6 таблиць та 23 джерел у переліку літератури. Об’єктом дослідження є тонкі плівки ZnO, леговані ітрієм. Предмет роботи – дослідження структури та оптичних властивостей тонких плівок ZnO в залежності від рівня легування ітрієм. Мета роботи – дослідити вплив легування ітрієм на структуру та оптичні властивості плівок ZnO, осаджених методом високочастотного магнетронного розпилення. В першому розділі представлено літературний огляд, де було розглянуто особливості та застосування матеріалу, наведено огляд робіт по легуванню ZnO ітрієм, та методи, за допомогою яких проводиться осадження тонких плівок. В другому розділі було описано як та за яких умов були виготовлені плівки, методи їх дослідження та методи для розрахунків властивостей. В третьому розділі було наведено результати досліджень властивостей вирощених плівок з різним рівнем легування, до яких увійшли: елементний аналіз, рентгенограми з їх аналізом та спектри пропускання. Встановлено, що ітрій входить в гратку ZnO.uk
dc.description.abstractotherThe work is presented on 50 pages, contains 3 chapters, 25 illustrations, 6 tables, and 23 references. The object of study is yttrium-doped ZnO thin films. The subject of the work is the study of the structure and optical properties of ZnO thin films depending on the level of yttrium doping. The aim of the work is to study the effect of yttrium doping on the structure and optical properties of ZnO films deposited by high-frequency magnetron sputtering. The first section presents a literature review, where the features and applications of the material were discussed, an overview of the work on yttrium doping of ZnO and the methods used to depose thin films were given. The second section described how and under what conditions the films were fabricated, the methods used to study them, and the methods used to calculate their properties. In the third section, the results of the study of the properties of the grown films with different levels of doping were presented, including elemental analysis, X-ray diffraction patterns with their analysis, and transmission spectra. It was found that yttrium is included in the ZnO lattice.uk
dc.format.extent50 с.uk
dc.identifier.citationЛисенко, П. Я. Структура та оптичні властивості плівок ZnO:Y, осаджених методом високочастотного магнетронного розпилення : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Лисенко Павло Ярославович. – Київ, 2023. – 50 с.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/60082
dc.language.isoukuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.subjectоксид цинкуuk
dc.subjectоксид цинку легований ітріємuk
dc.subjectвисокочастотне магнетронне розпиленняuk
dc.subjectтонкі плівкиuk
dc.subjectzinc oxideuk
dc.subjectyttrium-doped zinc oxideuk
dc.subjecthigh frequency magnetron sputteringuk
dc.subjectthin filmsuk
dc.titleСтруктура та оптичні властивості плівок ZnO:Y, осаджених методом високочастотного магнетронного розпиленняuk
dc.typeBachelor Thesisuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Lysenko_bakalavr.pdf
Розмір:
1.37 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
9.1 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Бакалаврські роботи (МЕ)
Бакалаврські роботи