Електронна мікроскопія напівпровідникових структур
Вантажиться...
Дата
2023
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Об'єкт дослідження – електронна мікроскопія в якості дослідження напівпровідникових структур.
Предмет дослідження – напівпровідникові структури.
Мета роботи – отримати розуміння ринкового значення напівпровідників, методів дослідження та застосування електронної мікроскопії для аналізу напівпровідникових структур, а також ознайомитись з актуальними дослідженнями та публікаціями у цій галузі.
В роботі було проведено аналіз методів дослідження напівпровідникових матеріалів, визначено місце електронної мікроскопії серед інших методів дослідження, визначено принцип дослідження напівпровідників методом електронної мікроскопії, описано склад скануючого електронного мікроскопа,
розглянуто застосування різноманітних методів дослідження структур напівпровідників методом електронної мікроскопії та описано їх можливості. Текстова частина дипломної роботи складає 52 сторінки, 16 рисунків та 28 літературні джерела.
Опис
Ключові слова
електронна мікроскопія, скануюча електронна мікроскопія, трансмісійна електронна мікроскопія, напівпровідник, напівпровідникова структура, методи дослідження напівпровідників методом електронної мікроскопії, дослідження напівпровідникових структур через електронну мікроскопію, electron microscopy, scanning electron microscopy, transmission electron microscopy, semiconductor, semiconductor structure, methods of studying semiconductors by electron microscopy, study of semiconductor structures by electron microscopy
Бібліографічний опис
Куліков, Б. О. Електронна мікроскопія напівпровідникових структур : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Куліков Борис Олегович. – Київ, 2023. – 52 с.