Вплив параметрів низькоенергетичного йонного опромінення на структуру та фазовий склад нанорозмірних плівок Ni/Cu/Cr
Вантажиться...
Дата
2023
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Об’єкт досліджень: тонкоплівкові композиції Ni/Cu/Cr з товщиною
кожного шару 25 нм, осаджені на підкладки монокристалічного кремнію
методом магнетронного розпорошення.
Предмет дослідження: зміни структури, фазового та хімічного складу
тонкоплівкових систем під час низькоенергетичного йонного опромінення.
Мета роботи: встановлення впливу енергії, густини струму та
тривалості низькоенергетичного йонного опромінення на структуру, фазовий
та хімічний склад нанорозмірних систем Ni/Cu/Cr.
Методи дослідження: рентгеноструктурний аналіз, Оже-електронна
спектроскопія, скануюча електронна мікроскопія.
Результати досліджень та їх новизна: Встановлено, що фазовий склад
вихідної системи не змінюється за всіх використаних режимів йонної
обробки. Визначено, що збільшення густини йонного струму з 4 мкА до
8 мкА обумовлює більш інтенсивне розпорошення верхнього шару Ni,
зменшення розміру його зерна, а також підвищення концентрації в
проміжному шарі Cu. Встановлено, що підвищення енергії йонного пучка з
800 еВ до 1400 еВ призводить до утворення структурних дефектів в
проміжному шарі. Показано, що для модифікації досліджуваних
наноматеріалів більш доцільним є проведення йонної обробки з меншою
енергією та більшою густиною струму.
Опис
Ключові слова
йонне опромінення, нанорозмірні плівкові композиції, структурно-фазові перетворення
Бібліографічний опис
Гаврилів, М. В. Вплив параметрів низькоенергетичного йонного опромінення на структуру та фазовий склад нанорозмірних плівок Ni/Cu/Cr : дипломна робота ... бакалавра : 132 Матеріалознавство / Гаврилів Михайло Віталійович. – Київ, 2023. – 79 с.