Дослідження та оптимізація МЕМС-акселерометра
Вантажиться...
Дата
2018
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Перспектива розвитку сучасного приладобудування тісно пов'язана з конструюванням і виробництвом приладів, що володіють компактністю, низькою собівартістю, великим терміном служби і низьким енергоспоживанням. З цієї точки зору розвиток нових різновидів мікромеханічних акселерометрів (ММА), як за принципом дії, так і за ціною, масі, робочому діапазону і геометричні розміри не тільки не втрачає сенсу, але і є важливим шляхом розвитку сучасної техніки для вимірювання механічних величин.
Незважаючи на те, що МЕМС - технологія передбачає виробництво недорогих датчиків, кристалічний кремній все ще залишається досить дорогим конструкційним матеріалом. Для вирішення цієї проблеми на допомогу конструкторам приходить програмний продукт Comsol Multiphysics, що дозволяє провести всі необхідні етапи моделювання необхідних фізичних процесів без використання для цього дорогих матеріалів.
Обсяг магістерської дисертації становить 96 сторінок. У роботу включені 100 малюнків, 20 таблиць і список літератури (16 найменувань).
Об'єктом дослідження є вимір прискорення за допомогою використання ємнісного МЕМС-акселерометра сконструйованого за допомогою методів поверхневої технології
Предметом дослідження є диференційний ємнісний осьової лінійний акселерометр.
Метою дослідження є оптимальний вибір геометричних розмірів елементів ММА, особливу увагу було приділено констукции пружних підвісів. Для дослідження параметрів акселерометра був описаний метод випробування моделі в середовищі Comsol Multiphysics, її дискретизації за допомогою розбиття її на елементарні елементи за допомогою завдання сітки з різною величиною в залежності від важливості вузлів.
Опис
Ключові слова
мэмс – технология, жесткость упругого подвеса, собственная частота, механический шум, смещение пружины, Comsol Multiphysics
Бібліографічний опис
Бурлаченко, О. С. Дослідження та оптимізація МЕМС акселерометра : магістерська дис. : 152 Метрологія та інформаційно-вимірювальна техніка / Бурлаченко Олександр Сергійович. – Київ, 2018. – 102 с.