Дослідження та оптимізація МЕМС-акселерометра
Вантажиться...
Дата
2018
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Опис
Ключові слова
мэмс – технология, жесткость упругого подвеса, собственная частота, механический шум, смещение пружины, Comsol Multiphysics
Бібліографічний опис
Бурлаченко, О. С. Дослідження та оптимізація МЕМС акселерометра : магістерська дис. : 152 Метрологія та інформаційно-вимірювальна техніка / Бурлаченко Олександр Сергійович. – Київ, 2018. – 102 с.