Дослідження та оптимізація МЕМС-акселерометра

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.advisorДубінець, Владислав Іванович
dc.contributor.authorБурлаченко, Олександр Сергійович
dc.date.accessioned2019-01-15T17:31:22Z
dc.date.available2019-01-15T17:31:22Z
dc.date.issued2018
dc.description.abstractenThe development perspective of modern instrument making is closely related to the design and manufacture of devices with compactness, low cost, long service life and low power consumption. From this point of view, the development of new types of micromechanical accelerometers (MMA), both in principle of operation and in price, mass, working range and geometrical dimensions, not only does not lose its meaning, but is also an important way of developing modern technology for measuring mechanical quantities. Despite the fact that the MEMS technology involves the production of inexpensive sensors, crystalline silicon is still a rather expensive construction material. To solve this problem, the Comsol Multiphysics software product comes to the aid of designers, allowing you to carry out all the necessary steps of modeling the necessary physical processes without using expensive materials. The volume of the master's thesis is 96 pages. The work included 100 drawings, 20 tables and a list of references (15 titles). The object of the study is to measure the acceleration using a capacitive MEMS accelerometer constructed using surface technology methods. The subject of study is the differential capacitive axial linear accelerometer. The aim of the study is the optimal choice of the geometric dimensions of MMA elements, special attention was paid to the design of elastic suspensions. To study the parameters of the accelerometer, a test method was described for the model in Comsol Multiphysics, its discretization by breaking it into elementary elements by specifying a grid with different values ​​depending on the importance of the nodes.uk
dc.description.abstractruПерспектива развития современного приборостроения тесно связана с конструированием и производством приборов, обладающих компактностью, низкой себестоимостью, большим сроком службы и низким энергопотреблением. С этой точки зрения развитие новых разновидностей микромеханических акселерометров (ММА), как по принципу действия, так и по цене, массе, рабочему диапазону и геометрическим размерам не только не теряет смысла, но и является важным путем развития современной техники для измерения механических величин. Несмотря на то, что МЭМС – технология предполагает производство недорогих датчиков, кристаллический кремний все еще остается достаточно дорогим конструкционным материалом. Для решения этой проблемы на помощь конструкторам приходит программный продукт Comsol Multiphysics, позволяющий провести все необходимые этапы моделирования необходимых физических процессов без использования для этого дорогих материалов. Объем магистерской диссертации составляет 96 страниц. В работу включены 100 рисунков, 20 таблиц и список литературы (15 наименований). Объектом исследования является измерение ускорения с помощью использования емкостного МЭМС-акселерометра сконструированного с помощью методов поверхностной технологии Предметом исследования является дифференциальный емкостной осевой линейный акселерометр. Целью исследования является оптимальный выбор геометрических размеров элементов ММА, особое внимание было уделено констукции упругих подвесов. Для исследования параметров акселерометра был описан метод испытания модели в среде Comsol Multiphysics, ее дискретизации с помощью разбития ее на элементарные элементы с помощью задания сетки с разной величиной в зависимости от важности узлов.uk
dc.description.abstractukПерспектива розвитку сучасного приладобудування тісно пов'язана з конструюванням і виробництвом приладів, що володіють компактністю, низькою собівартістю, великим терміном служби і низьким енергоспоживанням. З цієї точки зору розвиток нових різновидів мікромеханічних акселерометрів (ММА), як за принципом дії, так і за ціною, масі, робочому діапазону і геометричні розміри не тільки не втрачає сенсу, але і є важливим шляхом розвитку сучасної техніки для вимірювання механічних величин. Незважаючи на те, що МЕМС - технологія передбачає виробництво недорогих датчиків, кристалічний кремній все ще залишається досить дорогим конструкційним матеріалом. Для вирішення цієї проблеми на допомогу конструкторам приходить програмний продукт Comsol Multiphysics, що дозволяє провести всі необхідні етапи моделювання необхідних фізичних процесів без використання для цього дорогих матеріалів. Обсяг магістерської дисертації становить 96 сторінок. У роботу включені 100 малюнків, 20 таблиць і список літератури (16 найменувань). Об'єктом дослідження є вимір прискорення за допомогою використання ємнісного МЕМС-акселерометра сконструйованого за допомогою методів поверхневої технології Предметом дослідження є диференційний ємнісний осьової лінійний акселерометр. Метою дослідження є оптимальний вибір геометричних розмірів елементів ММА, особливу увагу було приділено констукции пружних підвісів. Для дослідження параметрів акселерометра був описаний метод випробування моделі в середовищі Comsol Multiphysics, її дискретизації за допомогою розбиття її на елементарні елементи за допомогою завдання сітки з різною величиною в залежності від важливості вузлів.uk
dc.format.page102 с.uk
dc.identifier.citationБурлаченко, О. С. Дослідження та оптимізація МЕМС акселерометра : магістерська дис. : 152 Метрологія та інформаційно-вимірювальна техніка / Бурлаченко Олександр Сергійович. – Київ, 2018. – 102 с.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/25802
dc.language.isoukuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.subjectмэмс – технологияuk
dc.subjectжесткость упругого подвесаuk
dc.subjectсобственная частотаuk
dc.subjectмеханический шумuk
dc.subjectсмещение пружиныuk
dc.subjectComsol Multiphysicsuk
dc.subject.udc681.2.009uk
dc.titleДослідження та оптимізація МЕМС-акселерометраuk
dc.typeMaster Thesisuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Burlachenko_magistr.pdf
Розмір:
4.26 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
7.74 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Магістерські роботи (ПБ)
Магістерські роботи