Модель тонкоплівкового пʼєзоелектричного резонатора на нітриді галію
Вантажиться...
Дата
2024
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Об’єктом дослідження є тонкоплівкові п’єзоелектричні резонатори.
Предметом роботи - моделювання тонкоплівкових п’єзоелектричних резонаторів на основі нітриду галію.
Метою роботи є дослідження моделей тонкоплівкових резонаторів та отримання частотних характеристик досліджуваних резонаторів.
В першому розділі було розглянуто актуальність використання тонкоплівкових п’єзоелектричних резонаторів, існуючі структури таких резонаторів, а також було проведено огляд характеристик нітриду галію.
В другому розділі було розглянуто існуючі моделі, які використовуються для моделювання тонкоплівкових п’єзоелектричних резонаторів.
В третьому розділі було проведено розрахунок параметрів та моделювання тонкоплівкові п’єзоелектричні резонатори з використанням модифікованої моделі Баттерворта-Ван Дайка та RLC-моделі. Також було отримано амплітудно-частотні характеристики та залежності імпедансу від частоти.
Опис
Ключові слова
тонкоплівковий п’єзоелектричний резонатор, модель тонкоплівкового п’єзоелектричного резонатора, модифікована модель Баттерворта-Ван Дайка, thin-film bulk acoustic resonator, thin-film bulk acoustic resonator model, TFBAR, modified Butterworth-Van Dyke model, mBVD
Бібліографічний опис
Андрійченко, Д. Г. Модель тонкоплівкового пʼєзоелектричного резонатора на нітриді галію : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Андрійченко Денис Геннадійович. – Київ, 2024. – 52 с.