Вплив матеріалу підкладки на морфологію, електрофізичні та трибологічні властивості тонкоплівкового аморфного вуглецю
Вантажиться...
Дата
2024
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Об’єкт досліджень: нанорозмірні плівкові вуглецеві аморфні матеріали, осаджені на підкладки з полірованого монокристалічного Si(100), ситалу та скла методом електродугового розпорошення в вакуумі.
Предмет дослідження: термічна стабільність та адгезійна міцність аморфних вуглецевих плівок на різних підкладках в умовах низькотемпературного відпалу.
Мета роботи: дослідити вплив матеріалу підкладки на термічну стабільність, зміну морфології поверхні та адгезійної міцності після термічної обробки аморфних вуглецевих тонкоплівкових матеріалів.
Методи дослідження: чотирьохзондова резистометрія, оптична мікроскопія, скануюча електронна мікроскопія, рентгеноструктурний фазовий аналіз.
Результати досліджень та їх новизна: термічна обробка аморфного вуглецю за температури 200 °C суттєво зменшує електроопір, збільшує адгезію, не впливаючи на морфологію поверхні.
Сфера застосування: мікро- та наноелектроніка, захисне покриття в агресивних середовищах, фотовольтаїка.
Опис
Ключові слова
адгезія, аморфний вуглець, термічна обробка, тонкоплівкові матеріали, резистометрія
Бібліографічний опис
Шкоденко, К. В. Вплив матеріалу підкладки на морфологію, електрофізичні та трибологічні властивості тонкоплівкового аморфного вуглецю : магістерська дис. : 132 Матеріалознавство / Шкоденко Костянтин Володимирович. – Київ, 2024. - 71 с.