Визначення основних електрофізичних параметрів структур метал-діелектрик-напівпровідник за вольт-фарадними характеристиками
Вантажиться...
Дата
2020
Автори
Абраімов, Олексій Валерійович
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Дипломна робота виконана на 60 сторінках, що містять 4 розділи, 28 ілюстрацій, 20 джерел посилань.
Об’єктом дослідження є вольт-фарадні характеристики структури метал-діелектрик-напівпровідник. Предметом є порівняння результатів дослідження електрофізичних параметрів за ВФХ відомими методами.
Метою роботи є порівняння відомих методів визначення електрофізичних параметрів МДН-структури.
Перший розділ присвячений основним поняттям та процесам, що спостерігаються в МДН-структурі. Визначено поняття ідеальної МДН-структури, порогової напруги, напруги плоских зон. Проведено невелику характеристику high-k матеріалів.
У другому розділі розглянута методика визначення параметрів структури за класичним методом та проведене їх експериментальне дослідження.
У третьому розділі обґрунтовано вплив зарядових станів на ВФХ системи. Проведено аналіз зарядових станів, що виникають на напівпровіднику.
Четвертий розділ присвячений проведенню експерименту для дослідження розподілу заряду на межі розподілу діелектрик-напівпровідник різними методами.
Опис
Ключові слова
МДН-структура, ВФХ, поверхневі стани, напруга плоских зон, розподіл заряду на межі діелектрик-напівпровідник, MIS structure, CV characteristics, surface states, voltage of planar zones, charge distribution at the insulator-semiconductor interface
Бібліографічний опис
Абраімов, О. В. Визначення основних електрофізичних параметрів структур метал-діелектрик-напівпровідник за вольт-фарадними характеристиками : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Абраімов Олексій Валерійович. – Київ, 2020. – 60 с.