Синтез кремнієвих наноструктур методом метало-стимульованого хімічного травлення для фотовольтаїки та сенсорики
Вантажиться...
Дата
2020
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Роботу викладено на 70 сторінках, вона містить 3 розділи, 28 ілюстрацій, 10 таблиць і 55 джерел в переліку посилань.
Об’єктом дослідження є кремнієві нанонитки та структури на їх основі.
Предмет роботи – дослідження морфологічних, електричних та фоточутливих характеристик синтезованих кремнієвих наноструктур та діодних сенсорах освітленості на їх основі.
Мета роботи – розробка технології синтезу кремнієвих наноструктур на поверхні кремнієвої підкладки методом метало-стимульованого хімічного травлення (МСХТ) для застосування їх в діодних сенсорах освітленості.
В першому розділі подано огляд літератури, в якому розглядається технологічні засади та реалізація методу МСХТ, вплив технологічних параметрів методу МСХТ на структурні особливості отримуваних кремнієвих наноструктур.
В другому розділі роботи розглядається застосування методу МСХТ в електроніці, вплив технологічних параметрів методу на чутливість напіпровідникових сенсорів та на фотоелектричні характеристики сонячних елементів.
В третьом розділі наводяться результати синтезу, дослідження поверхневої морфології, електричних та фоточутливих характеристик діодних сенсорів освітленості, отриманих на основі кремнієвих наноструктур, в залежності від технологічних параметрів методу МСХТ.
Опис
Ключові слова
кремній, метало-стимульоване хімічне травлення, нанонитки, діодний сенсор освітленості, silicon nanowires, metal-assisted chemical etching, diode light sensor
Бібліографічний опис
Скиба, І. В. Синтез кремнієвих наноструктур методом метало-стимульованого хімічного травлення для фотовольтаїки та сенсорики : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Скиба Іван Васильович. – Київ, 2020. – 70 с.