Кремнієві структури метал-діелектрик-напівпровідник стекового типу
Вантажиться...
Дата
2020
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Дипломна робота присвячена метал-діелектрик-напівпровідник структурам стекового типу. Метою роботи є описання проблеми заміни SiO2 в МДН-структурах на інші діелектрики та описання стекової структури з діелектриком з високою діелектричною проникністю (high-k).
У роботі приводиться інформація про використання діелектриків, які замінили SiO2 через ряд переваг, які також були описані. Загальний обсяг роботи: 56 сторінок, 16 ілюстрацій, 10 посилань, 0 додатків.
Опис
Ключові слова
МДН, МДНТ, МОН, структурa, MOSFET, CMOSFET, MDS, MDST, MOS, structure, MOSFET, CMOSFET
Бібліографічний опис
Морозов, Д. В. Кремнієві структури метал-діелектрик-напівпровідник стекового типу : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Морозов Дмитро Вадимович. – Київ, 2020. – 55 с.