Кремнієві структури метал-діелектрик-напівпровідник стекового типу

Вантажиться...
Ескіз

Дата

2020

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

КПІ ім. Ігоря Сікорського

Анотація

Дипломна робота присвячена метал-діелектрик-напівпровідник структурам стекового типу. Метою роботи є описання проблеми заміни SiO2 в МДН-структурах на інші діелектрики та описання стекової структури з діелектриком з високою діелектричною проникністю (high-k). У роботі приводиться інформація про використання діелектриків, які замінили SiO2 через ряд переваг, які також були описані. Загальний обсяг роботи: 56 сторінок, 16 ілюстрацій, 10 посилань, 0 додатків.

Опис

Ключові слова

МДН, МДНТ, МОН, структурa, MOSFET, CMOSFET, MDS, MDST, MOS, structure, MOSFET, CMOSFET

Бібліографічний опис

Морозов, Д. В. Кремнієві структури метал-діелектрик-напівпровідник стекового типу : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Морозов Дмитро Вадимович. – Київ, 2020. – 55 с.

DOI