Мікромеханічний векторний акустичний сенсор низькочастотного діапазону
Вантажиться...
Дата
2021
Автори
Шмаровоз, Сергій Володимирович
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Роботу викладено на 66 сторінках, вона містить 3 розділи, 22__ ілюстрацій, _2__ таблиці і 45 джерел в переліку посилань.
Об’єктом дослідження є мікромеханічний векторний акустичний сенсор низькочастотного діапазону.
Предмет роботи – акустичні, електричні, механічні характеристики акустичних сенсорів на основі кремнієвих структур.
Мета роботи – аналіз вимірювального перетворення та технології виготовлення і визначення характеристик векторного акустичного сенсора низькочастотного діапазону на основі кремнієвих мікромеханічних структур.
В першому розділі розглянуто параметри акустичного поля та його характеристик, описано сучасні приймачі акустичних сигналів, проведенно аналіз методів визначення інтенсивності звуку в середовищі.
В другому розділі роботи розглядаються основи МЕМС-технології та основні конструктивно-технологічні засади розробки акустичного сенсора. В розділі описано основні технологічні процеси – глибокого анізотропного хімічного травлення монокристалічного кремнію та інного травлення, метод фотолітографії при створенні тривимірних сенсорних структур потрібної геометрії, первинні перетворювачі (ПП) на основі МЕМС-технології, глибоко і детально проаналізоно векторний акустичний датчик Microflown.
В третьом розділі проаналізовано експериментальні методики визначення характеристик перетворення та наводяться приклади застосування мікромеханічного векторного акустичного сенсора низькочастотного діапазону на основі сенсорів АVS та приладів AVISA, V-AMMS.
Опис
Ключові слова
Бібліографічний опис
Шмаровоз, С. В. Мікромеханічний векторний акустичний сенсор низькочастотного діапазону : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Шмаровоз Сергій Володимирович. – Київ, 2021. – 66 с.