Мікромеханічний векторний акустичний сенсор низькочастотного діапазону
Вантажиться...
Дата
2021
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Роботу викладено на 66 сторінках, вона містить 3 розділи, 22__ ілюстрацій, _2__ таблиці і 45 джерел в переліку посилань.
Об’єктом дослідження є мікромеханічний векторний акустичний сенсор низькочастотного діапазону.
Предмет роботи – акустичні, електричні, механічні характеристики акустичних сенсорів на основі кремнієвих структур.
Мета роботи – аналіз вимірювального перетворення та технології виготовлення і визначення характеристик векторного акустичного сенсора низькочастотного діапазону на основі кремнієвих мікромеханічних структур.
В першому розділі розглянуто параметри акустичного поля та його характеристик, описано сучасні приймачі акустичних сигналів, проведенно аналіз методів визначення інтенсивності звуку в середовищі.
В другому розділі роботи розглядаються основи МЕМС-технології та основні конструктивно-технологічні засади розробки акустичного сенсора. В розділі описано основні технологічні процеси – глибокого анізотропного хімічного травлення монокристалічного кремнію та інного травлення, метод фотолітографії при створенні тривимірних сенсорних структур потрібної геометрії, первинні перетворювачі (ПП) на основі МЕМС-технології, глибоко і детально проаналізоно векторний акустичний датчик Microflown.
В третьом розділі проаналізовано експериментальні методики визначення характеристик перетворення та наводяться приклади застосування мікромеханічного векторного акустичного сенсора низькочастотного діапазону на основі сенсорів АVS та приладів AVISA, V-AMMS.
Опис
Ключові слова
Бібліографічний опис
Шмаровоз, С. В. Мікромеханічний векторний акустичний сенсор низькочастотного діапазону : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Шмаровоз Сергій Володимирович. – Київ, 2021. – 66 с.