Мікромеханічний векторний акустичний сенсор низькочастотного діапазону

Вантажиться...
Ескіз

Дата

2021

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

КПІ ім. Ігоря Сікорського

Анотація

Роботу викладено на 66 сторінках, вона містить 3 розділи, 22__ ілюстрацій, _2__ таблиці і 45 джерел в переліку посилань. Об’єктом дослідження є мікромеханічний векторний акустичний сенсор низькочастотного діапазону. Предмет роботи – акустичні, електричні, механічні характеристики акустичних сенсорів на основі кремнієвих структур. Мета роботи – аналіз вимірювального перетворення та технології виготовлення і визначення характеристик векторного акустичного сенсора низькочастотного діапазону на основі кремнієвих мікромеханічних структур. В першому розділі розглянуто параметри акустичного поля та його характеристик, описано сучасні приймачі акустичних сигналів, проведенно аналіз методів визначення інтенсивності звуку в середовищі. В другому розділі роботи розглядаються основи МЕМС-технології та основні конструктивно-технологічні засади розробки акустичного сенсора. В розділі описано основні технологічні процеси – глибокого анізотропного хімічного травлення монокристалічного кремнію та інного травлення, метод фотолітографії при створенні тривимірних сенсорних структур потрібної геометрії, первинні перетворювачі (ПП) на основі МЕМС-технології, глибоко і детально проаналізоно векторний акустичний датчик Microflown. В третьом розділі проаналізовано експериментальні методики визначення характеристик перетворення та наводяться приклади застосування мікромеханічного векторного акустичного сенсора низькочастотного діапазону на основі сенсорів АVS та приладів AVISA, V-AMMS.

Опис

Ключові слова

Бібліографічний опис

Шмаровоз, С. В. Мікромеханічний векторний акустичний сенсор низькочастотного діапазону : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Шмаровоз Сергій Володимирович. – Київ, 2021. – 66 с.

DOI