Контроль товщини тонких плівок еліпсометричним методом
Вантажиться...
Дата
2010
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
ВПІ НТУУ "КПІ"
Анотація
Опис
Ключові слова
Бібліографічний опис
Юшко А. В. Контроль товщини тонких плівок еліпсометричним методом / А. В. Юшко, М. А. Зенкін // Технологія і техніка друкарства : збірник наукових праць. – 2010. – Вип. 4(30). – С. 88–91. – Бібліогр.: 3 назви.