Технологія мікроскопії із сфокусованим йонним пучком для прототипів наноприладів
Вантажиться...
Дата
2024
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Роботу викладено на 63 сторінках, вона містить 4 розділи, 25 ілюстрацій, 3 таблиці та 17 джерел в списку використаної літератури.
Об’єктом дослідження став метод створення прототипів наноприладів із застосуванням технології мікроскопії із сфокусованим іонним пучком.
Предмет роботи – прототипування та створення наноприладів.
Метою данної роботи стали методи створення та дослідження прототипів найпростіших наноструктур та наноприладів.
Перший інформаційно-аналітичний розділ пояснює різні методи створення та дослідження наноструктур та наноприладів.
У другому розділі викладено принцип роботи та структуру мікроскопу із сфокусованим іонним пучком.
У третьому показані вже існуючі прототипи наноприладів та різні матеріали для їх створення.
У четвертому переваги та недоліки методу мікроскопії із сфокусованим іонним пучком.
Опис
Ключові слова
Бібліографічний опис
Чипегін, В. В. Технологія мікроскопії із сфокусованим йонним пучком для прототипів наноприладів : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Чипегін Віталій Віталійович. – Київ, 2024. – 68 с.