Електронна мікроскопія для дослідження нанорозмірних структур
Вантажиться...
Дата
2025
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Об’єкт дослідження – електронна мікроскопія як інструмент вивчення наноструктур.
Предмет дослідження – нанорозмірні структури в мікро- та наноелектроніці.
Мета роботи – проаналізувати основні методи електронної мікроскопії, зокрема СЕМ і ТЕМ, для дослідження наноструктур; вивчити їх переваги, застосування та порівняти з іншими методами аналізу; ознайомитись з реальними прикладами застосування в напівпровідниковій та епітаксійній технологіях.
У роботі проведено системний аналіз сучасних методів дослідження наноматеріалів, окреслено роль електронної мікроскопії як одного з найбільш ефективних способів візуалізації структур на атомному рівні. Детально розглянуто принципи роботи, будову, режими візуалізації скануючої (SEM) та трансмісійної (TEM) електронної мікроскопії. Наведено приклади аналізу квантових точок, нанодротів, тонких плівок, а також підповерхневих дефектів у напівпровідникових матеріалах. Проаналізовано перспективні напрямки розвитку електронної мікроскопії, зокрема 3D-реконструкцію, машинне навчання та кріо-ЕМ.
Опис
Ключові слова
електронна мікроскопія, скануюча електронна мікроскопія, трансмісійна електронна мікроскопія, наноструктура, квантова точка, нанодріт, GaN, методи аналізу наноматеріалів, дефекти кристалу, electron microscopy, scanning electron microscopy, transmission electron microscopy, nanostructure, quantum dot, nanowire, methods of analysis of nanomaterials, crystal defects
Бібліографічний опис
Харчук, А. А. Електронна мікроскопія для дослідження нанорозмірних структур : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Харчук Артур Анатолійович. – Київ, 2025. – 43 с.