Визначення основних електрофізичних параметрів структур метал-діелектрик-напівпровідник за вольт-фарадними характеристиками
Вантажиться...
Дата
2020
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Дипломна робота виконана на 60 сторінках, що містять 4 розділи, 28 ілюстрацій, 20 джерел посилань.
Об’єктом дослідження є вольт-фарадні характеристики структури метал-діелектрик-напівпровідник. Предметом є порівняння результатів дослідження електрофізичних параметрів за ВФХ відомими методами.
Метою роботи є порівняння відомих методів визначення електрофізичних параметрів МДН-структури.
Перший розділ присвячений основним поняттям та процесам, що спостерігаються в МДН-структурі. Визначено поняття ідеальної МДН-структури, порогової напруги, напруги плоских зон. Проведено невелику характеристику high-k матеріалів.
У другому розділі розглянута методика визначення параметрів структури за класичним методом та проведене їх експериментальне дослідження.
У третьому розділі обґрунтовано вплив зарядових станів на ВФХ системи. Проведено аналіз зарядових станів, що виникають на напівпровіднику.
Четвертий розділ присвячений проведенню експерименту для дослідження розподілу заряду на межі розподілу діелектрик-напівпровідник різними методами.
Опис
Ключові слова
МДН-структура, ВФХ, поверхневі стани, напруга плоских зон, розподіл заряду на межі діелектрик-напівпровідник, MIS structure, CV characteristics, surface states, voltage of planar zones, charge distribution at the insulator-semiconductor interface
Бібліографічний опис
Абраімов, О. В. Визначення основних електрофізичних параметрів структур метал-діелектрик-напівпровідник за вольт-фарадними характеристиками : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Абраімов Олексій Валерійович. – Київ, 2020. – 60 с.