Automatic control system of the direct photolithography writer with an autofocus algorithm

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.advisorPeresada, Sergiy
dc.contributor.authorIsyp, Mykhailo Oleksandrovych
dc.date.accessioned2023-06-03T15:45:33Z
dc.date.available2023-06-03T15:45:33Z
dc.date.issued2023
dc.description.abstractThe thesis contains 95 pages, of them 75 – the main text, 45 figures, and 8 tables. The main purpose of the project is to develop an automatic focus control system for the direct lithography writing tool. Motivation lies in making such instrumentation more available for research laboratories. In the beginning, an analytical review of the current state microlithography technologies is made. Consequently, direct lithography writing is selected as the most effective method for microfabrication in the research area. Then, the main requirements for lithographic processes of direct writer systems are described, and the tool’s design is proposed. The direct lithography writer system is developed based on an open-source microscopy project, namely the OpenFlexure Microscope. The design's mechanical, optical, electrical, and computation subsystems are described, and modifications required for the lithography are applied. In addition, the device's mechanical properties are determined by calculations and measurements. The autofocus control problem is formulated following the proposed direct lithography writer design. The system with the 28BYJ-48 stepper motor is investigated by simulating the focus control model in MatLab/Simulink. For better performance, the RSF-8B-30 servomotor is proposed as an alternative, succeeding in accuracy and speed increasing for the focus control.uk
dc.description.abstractotherМагістерська дисертація містить 95 сторінок, з них 75 – основний текст, 45 рисунків та 8 таблиць. Головною метою проєкту є розробка системи автоматичного фокусування для пристрою прямого літографічного запису. Мотивація полягає у тому, щоб зробити таке обладнання доступнішим для дослідницьких лабораторій. На початку зроблено аналітичний огляд сучасних технологій мікролітографії. У наслідок цього, літографія прямого запису вибрана як найбільш ефективний метод мікровиробництва у сфері досліджень. Після цього, описано основні вимоги до процесів літографії систем прямого запису, та запропоновано дизайн інструмента. Розроблено систему пристрою прямої літографії на основі проєкту мікроскопа з відкритим кодом, що має назву OpenFlexure Microscope. Описано механічну, оптичну, електричну та обчислювальну системи, внесені зміни до дизайну, що необхідні для застосування в літографії. Окрім цього, визначено механічні властивості приладу на основі розрахунку та вимірювання. Сформульовано проблему автоматичного фокусування відповідно до запропонованого дизайну пристрою літографії прямим записом. Досліджено систему з використанням крокового двигуна 28BYJ-48 шляхом моделювання MatLab/Simulink. Для більшої продуктивності в якості альтернативи запропоновано серводвигун RSF-8B-30, що дозволяє покращити точність та швидкість фокусування.uk
dc.format.extent95 p.uk
dc.identifier.citationIsyp, M. O. Automatic control system of the direct photolithography writer with an autofocus algorithm : master’s degree : 141 Electric power engineering, electronics and electromechanics / Isyp Mykhailo Oleksandrovych. – Kyiv, 2023. – 95 p.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/56565
dc.language.isoenuk
dc.publisherIgor Sikorsky Kyiv Polytechnic Instituteuk
dc.publisher.placeKyivuk
dc.subjectdirect lithography writeruk
dc.subjectautofocus controluk
dc.subjectpermenant magnet syncronous motoruk
dc.subjectpositional controluk
dc.subjectunipolar stepper motoruk
dc.subjectпристрій прямої літографіїuk
dc.subjectавтофокусуванняuk
dc.subjectсинхронний двигун з постійними магнітамиuk
dc.subjectпозиційне керуванняuk
dc.subjectуніполярний кроковий двигунuk
dc.subject.udc62-52uk
dc.titleAutomatic control system of the direct photolithography writer with an autofocus algorithmuk
dc.typeMaster Thesisuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Isyp_magistr.pdf
Розмір:
5.13 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Магістерські роботи (АЕМСЕП)
Магістерські роботи