Сканувальна електронна мікроскопія для дослідження епітаксійних плівок
Вантажиться...
Дата
2024
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Об'єкт дослідження – сканувальна електронна мікроскопія.
Предмет дослідження – сканувальна електронна мікроскопія як метод дослідження епітаксійних плівок.
Мета роботи – дослідження сканувальної електронної мікроскопії як методу вивчення епітаксійних структур.
В роботі було здійснено аналіз скануючої електронної мікросокопії як методу дослідження епітаксійних структур, розглянуто проблематику дефектів епітаксійних структур та методи їх вивчення, описано склад скануючого електронного мікроскопа та можливості його застосування для дослідження матеріалів та структур, проаналізовано переваги СЕМ у сфері дослідження епітаксійних плівок, розглянуто метод EBSD та особливості його застосування у процесі дослідження епітаксйних плівок.
Встановлено, що скануюча електронна мікроскопія як метод пізнання епітаксійних структур дозволяє досліджувати морфологію матеріалів, здійснювати аналіз хімічного складу матеріалу, створювати нові каталізатори з заданими властивостями поверхні, досліджувати структури проміжних рядів між композиціями, вивчати процеси деформації матеріалів, контролювати якість матеріалів, здійснювати вимірювання лінійних розмірів елементів мікроструктур у матеріалах.
Опис
Ключові слова
скануюча електронна мікроскопія (СЕМ), епітаксія, епітаксійні плівки, дефекти структур епітаксіних плівок, РЕМ, напівпровідник, напівпровідникова структура, метод EBSD, scanning electron microscopy (SEM), epitaxy, epitaxial films, defects in the structures of epitaxial films, SEM, semiconductor, semiconductor structure, EBSD method
Бібліографічний опис
Ковтун, Б. Ю. Сканувальна електронна мікроскопія для дослідження епітаксійних плівок : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Ковтун Богдан Юрійович. – Київ, 2024. – 80 с.