Сканувальна електронна мікроскопія для дослідження епітаксійних плівок

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.advisorВерцанова, Олена Вікторівна
dc.contributor.authorКовтун, Богдан Юрійович
dc.date.accessioned2024-06-27T08:10:14Z
dc.date.available2024-06-27T08:10:14Z
dc.date.issued2024
dc.description.abstractОб'єкт дослідження – сканувальна електронна мікроскопія. Предмет дослідження – сканувальна електронна мікроскопія як метод дослідження епітаксійних плівок. Мета роботи – дослідження сканувальної електронної мікроскопії як методу вивчення епітаксійних структур. В роботі було здійснено аналіз скануючої електронної мікросокопії як методу дослідження епітаксійних структур, розглянуто проблематику дефектів епітаксійних структур та методи їх вивчення, описано склад скануючого електронного мікроскопа та можливості його застосування для дослідження матеріалів та структур, проаналізовано переваги СЕМ у сфері дослідження епітаксійних плівок, розглянуто метод EBSD та особливості його застосування у процесі дослідження епітаксйних плівок. Встановлено, що скануюча електронна мікроскопія як метод пізнання епітаксійних структур дозволяє досліджувати морфологію матеріалів, здійснювати аналіз хімічного складу матеріалу, створювати нові каталізатори з заданими властивостями поверхні, досліджувати структури проміжних рядів між композиціями, вивчати процеси деформації матеріалів, контролювати якість матеріалів, здійснювати вимірювання лінійних розмірів елементів мікроструктур у матеріалах.
dc.description.abstractotherThe object of research is scanning electron microscopy. Subject of research - scanning electron microscopy as a method of studying epitaxial films. The purpose of the study is to investigate scanning electron microscopy as a method of studying epitaxial structures. The paper analyses scanning electron microscopy as a method for studying epitaxial structures, considers the problems of defects in epitaxial structures and methods for their study, describes the composition of a scanning electron microscope and the possibilities of its use for studying materials and structures, analyses the advantages of SEM in the field of epitaxial film research, and considers the EBSD method and the peculiarities of its application in the process of studying epitaxial films. It has been established that scanning electron microscopy as a method of studying epitaxial structures allows to investigate the morphology of materials, analyse the chemical composition of the material, create new catalysts with specified surface properties, study the structures of intermediate rows between compositions, study the deformation processes of materials, control the quality of materials, and measure the linear dimensions of microstructure elements in materials.
dc.format.extent80 с.
dc.identifier.citationКовтун, Б. Ю. Сканувальна електронна мікроскопія для дослідження епітаксійних плівок : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Ковтун Богдан Юрійович. – Київ, 2024. – 80 с.
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/67522
dc.language.isouk
dc.publisherКПІ ім. Ігоря Сікорського
dc.publisher.placeКиїв
dc.subjectскануюча електронна мікроскопія (СЕМ)
dc.subjectепітаксія
dc.subjectепітаксійні плівки
dc.subjectдефекти структур епітаксіних плівок
dc.subjectРЕМ
dc.subjectнапівпровідник
dc.subjectнапівпровідникова структура
dc.subjectметод EBSD
dc.subjectscanning electron microscopy (SEM)
dc.subjectepitaxy
dc.subjectepitaxial films
dc.subjectdefects in the structures of epitaxial films
dc.subjectSEM
dc.subjectsemiconductor
dc.subjectsemiconductor structure
dc.subjectEBSD method
dc.titleСканувальна електронна мікроскопія для дослідження епітаксійних плівок
dc.typeBachelor Thesis

Файли

Зібрання

Бакалаврські роботи (МЕ)
Бакалаврські роботи